目前從事同培養(yǎng)研究生相關(guān)的研究課題及研究?jī)?nèi)容簡(jiǎn)介
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主要進(jìn)行功能薄膜技術(shù)與納米/微米技術(shù)的研究。采用目前國(guó)際上先進(jìn)的脈沖激光薄膜沉積技術(shù)進(jìn)行各種功能薄膜(如紅外敏感薄膜、鐵電薄膜、量子阱材料及超導(dǎo)薄膜等)的制備及應(yīng)用研究,同時(shí)開(kāi)展與MEMS技術(shù)相關(guān)的納米/微米技術(shù)研究。目前進(jìn)行的是非制冷室溫紅外焦平面陣列的制備以及激光微加工、MEMS技術(shù)。利用脈沖激光薄膜沉積技術(shù)和激光微加工技術(shù)制備金屬硅化物薄膜的微結(jié)構(gòu)陣列。
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